产品介绍
μsurf 系列产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD 的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘
取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间内(约几秒)精确
量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下
测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由
于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体
高度，建立3D 立体影像，优势相当明显。
NanoFocus μsurf solar 太阳能电池3D 显微镜，可以对太阳能电池片进行自动化测量，
广泛适用于单晶、多晶和薄膜太阳能电池片，一分钟内可以自动测量12 个区域，是质量检
验和生产控制中的最有效的光学三维表面测量和分析工具。可以进行太阳能电池片栅线的
3D 形貌表征、高宽比测量，制绒后3D 形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度、比表面
积，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析，以及减反射层腐蚀表面的测量，薄膜小孔的检
测和自动分析。
作为太阳能行业必要设备，μsurf solar 太阳能电池3D 显微镜从硬件到软件均是针对太
阳能行业定制开发出来的，其测量样品的平台带有真空吸盘，可以承受210mmX210mm 的
样品，能确保太阳能电池片移动时不破坏。适用μsurf solar 有利于控制生产工艺,提高效率,
是质量的可靠保证。
?? 技术参数
LED 光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间：2~10 秒
测量原理：非接触、共聚焦
X/Y 方向：平台移动范围200mmX200mm，马达驱动，最大移动速度40 mm/s，X/Y 方向
分辨率：0.3μm
Z 方向测量范围：500μm，Z 方向分辨率：1nm
物镜：10X、20X、50X、100X(可选)
离轴摄像头(10X)，最大视野8 x 6 mm2(选配)
计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且附带全面解决方案的自动化软件
工作电源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA
材质：钢铁、橡胶、大理石
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
设备咨询联系人:
Ronnie Chen +86-21-61533166 +86-13651969369 ronniechen@nanofocus.com.cn